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2024年10月7日上午，希磁科技MEMS智能磁传感器核心器件中试研发项目在市经开区签约。市委书记黄晓武、市长马军出席签约仪式，并与国投招商投资管理有限公司董事总经理陈光、安徽希磁科技股份有限公司董事长王建国等举行工作座谈。市领导郭家满、冯中元参加。
基于MEMS水听器的水下探测系统设计与实现（图）
MEMS 水听器 水下探测 系统设计
2024/10/15
MEMS水听器作为声呐的核心部件，具有灵敏度高、低频特性好的优势，在进行水下探测时，可同时得到水下声场的声压及振速信息，被广泛应用于声呐浮标、无人水下航行器（UUV）等水下平台，实现对水下目标的实时探测。
中国工程院院士蒋庄德：打破国外MEMS技术垄断，为中国智造打好基础（图）
蒋庄德 MEMS 智造 技术垄断
2024/10/15
近日，重庆电视台《重庆专访》栏目，对话中国工程院院士、西安交通大学教授蒋庄德，看他们如何打破国外MEMS技术垄断，为中国智能制造打好基础。
基于微机电系统（MEMS）微纳加工技术的生物芯片（Bio-Chip）属于生物医学与集成电路的交叉融合创新领域，可以实现器件和系统的微型化，能显著提升生物医学的诊断和治疗能力，具有自动化、高通量、更快捷和损伤更小等优点。纳米孔基因测序芯片是生物芯片的重要应用之一，作为纳米孔测序仪的核心检测单元，在基因测序的速度、精度、成本和便携性等方面具有明显优势。作为“超越摩尔”集成电路核心工艺部署方向之一，上海...
面向大批量、低成本市场开发MEMS传感技术的先驱Omnitron Sensors，近日宣布将与赛微电子旗下Silex Microsystems合作量产用于激光雷达（LiDAR）的MEMS扫描镜。Omnitron Sensors联合创始人、首席执行官（CEO）Eric Aguilar表示：“我们注意到汽车高级驾驶辅助系统（ADAS）、无人机及其他机器人系统制造商对低成本、高可靠的激光雷达有着巨大的需...
东南大学MEMS教育部重点实验室
东南大学MEMS教育部重点实验室 微电子学
2022/5/7
东南大学1983年开始集成传感器的研究，并于1985年在欧洲固态电子器件会议《ESSDERC￠85，Germany, p.88》报道了集成MOS流量传感器的研究结果；1986年开始了硅片直接键合技术研究，并于1987年在《Applied Surface Science，30(2)，397（1987）》报道了硅键合材料的测试结果；1987年开始了微传感器CAD研究，并于1988年在《Solid St...
基于宽禁带氧化物半导体薄膜材料的MEMS传感器研发（图）
宽禁带氧化物半导体薄膜材料 MEMS传感器
2022/5/30
2021年12月第一届全国博士后创新创业大赛在广东省佛山市举办，中山大学博士后青年英才积极组队参加，展现了中山大学博士后队伍建设的蓬勃气象。本届大赛以“博采科技精华 创新引领未来”为主题，共设创新赛、创业赛、海外（境外）赛和揭榜领题赛等四个组别，约1400个项目以路演和答辩为主要展示形式，线下现场赛和线上云参赛相结合，经过3天的激烈角逐，我校代表团共获得1个银奖、3个铜奖、8个优胜奖的好成绩。
东南大学电子学院牵头国家重点研发计划“硅基MEMS高能量密度薄膜锂离子电池”项目启动暨实施方案论证会顺利召开（图）
东南大学电子学院 国家重点研发计划 硅基MEMS 高能量密度 薄膜 锂离子电池 无线传感网 论证会
2022/5/7
2021年3月31日，东南大学电子学院黄晓东教授牵头的国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”重点专项“硅基MEMS高能量密度薄膜锂离子电池”项目启动暨实施方案论证会在南京顺利召开。电子学院科研副院长徐申及科研院等相关部门负责同志出席了论证会。
国内领先的硅光子平台和MEMS工艺平台开始对外服务（图）
硅光子平台 MEMS工艺 对外服务
2017/5/31
近日，中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心对外发布了基于8英寸CMOS工艺线的硅光子平台和MEMS工艺平台，开始面向国内外企业开展技术服务，标志着我国在硅光子和MEMS领域的研发能力大幅提高，将显著提升企业和科研机构在上述领域的研发进度。硅光子技术是在后摩尔时代微电子与光电子融合趋势下发展起来的新型技术，它利用成熟的CMOS技术和平台并基于硅基材料进行光电器件和芯片的开发与生产。硅光子不...
MEMS开关宽频程控步进衰减器设计与实现
MEMS开关 射频衰减器 Q值匹配
2016/12/17
提出了一种基于MEMS开关的射频衰减器设计方案。首先对整体电路的基础结构进行了设计，选择以CPW（共面波导）为传输线，接触式MEMS开关作控制器件，同时以开关中的电容作为断路时的平衡电容进行Q值匹配；其次，通过理论推导与计算得到了波导的截面尺寸；然后按所需衰减量计算T型网络各个电阻的阻值大小。再按照计算值在CST微波工作室中建模仿真，对比单级衰减和展频二级衰减的S参数，可以发现，在Q值匹配后的电路...
新型电容式MEMS加速度计数字接口电路设计
接口电路 MEMS Sigma-delta ADC
2016/12/26
MEMS加速度计接口电路主要采用传统sigma-delta架构实现，但这种方式中的电路失调电压很容易产生积分饱和现象.为解决这个问题，本文设计了一种可以用于钻井、石油勘探等微弱信号检测的新型数字电容接口电路.该设计在电容式MEMS加速度传感器基础上，采用FPGA实现数字三阶环路滤波器，构成5阶sigma-delta系统.采用数字环路滤波器降低了ASIC模拟电路版图设计与芯片测试难度，利于快速优化环...
2014 IEEE 27th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
2014 IEEE 27th International Conference Micro Electro Mechanical Systems MEMS
2014/1/20
This Conference reflects from the rapid proliferation of the commitment and success of the Microsystems research community. In recent years, the IEEE MEMS Conference has attracted more than 700 partic...
基于MEMS工艺的高增益低副瓣太赫兹波纹喇叭天线设计
太赫兹 微电子机械系统(MEMS)工艺 喇叭天线 波纹开槽 Terahertz (Thz) Micro-Electro-Mechanical-Systems (MEMS) Technology Horn Antenna Corrugated Groove
2014/7/4
本文提出了一种基于微电子机械系统(MEMS)工艺的高增益低副瓣太赫兹波纹喇叭天线设计方法。利用三维全波有限元电磁仿真软件Ansys HFSS，对角锥喇叭的波纹开槽尺寸和条数进行参数分析和优化设计，获得了在275 GHz至580 GHz的有效带宽内(回波损耗小于10 dB)增益超过8 dB和副瓣电平小于−13 dB的太赫兹波纹喇叭天线。结果表明波纹开槽可有效提高太赫兹喇叭天线增益并压低副...
本论文报道了一种基于微加工金电极的细胞电穿孔芯片及一套完整的细胞电穿孔系统。该系统能够在多种细胞系中实现高效细胞电穿孔（对典型HEK-293A(人胚胎肾细胞)细胞的穿孔效率高于90%，3T3-L1（小鼠胚胎成纤维细胞）的电穿孔效率高达80%）。并且具有手动模式和自动模式。同时，由于基于独特的电极设计，其所需电压也远低于现有设备（典型工作电压为60V），成本更低，操作更安全。